原子直視型超高圧電子顕微鏡 (Ultra-high voltage electron microscope)
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 東京大学 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | 顕微鏡 > 透過電子顕微鏡 |
| 製造元 | 日本電子株式会社 (JEOL Ltd.) |
| 型番 | JEM-ARM1250 |
| 設備名称 | 原子直視型超高圧電子顕微鏡 (Ultra-high voltage electron microscope) |
| 装置スペック | □主な仕様 （１）本体 加速電圧 ： 400、600、800、1,000、1,250kV 電子線源 ： 単結晶LaB6 焦点距離 ： 8.2mm 球面収差係数 ： 1.4mm 色収差係数 ： 2.5mm 分解能 ： 0.1nm（粒子像） 試料最大傾斜角 ： ±35° 真空度 ： 7×10-6Pa以下（試料室） 排気方式 ： ターボ分子、イオン、クライオポンプ併 用（完全ドライ方式） （２）電子線損傷低減装置（MDS） 組込 （３）画像記録 シートフィルムおよびイメージングプレート（25μm／ピクセル） （４）収束電子線回折装置 組込 収束角（2α）／最小スポット径 ： 4.0mrad.／15nm～2.0mrad.／30nm 最大加速電圧 ： 1,250kV 最大試料傾斜角 ： ±25° |
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