デバイス >
自動フォトマスクエッチング装置
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 東京大学 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | デバイス > |
| 製造元 | アクテス京三 (株) |
| 型番 | AEP-3000S |
| 設備名称 | 自動フォトマスクエッチング装置 |
| 装置スペック | 東京大学の電子線描画装置を用いて5009サイズのフォトマスクを作製するために使用する自動クロムエッチング装置。 試料サイズ：Φ2ｰΦ6インチ、または100x100mm プログラム設定：1プログラム最大99ステップ、50プログラム保存可能 回転数： ０－3000rpm 開店時間： ０－999sec ノズル：薬液 2系等、リンス １系統 |
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