デバイス >
汎用高品位ICPエッチング装置 ( ICP-RIE machine)
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 東京大学 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | デバイス > |
| 製造元 | アルバック (ULVAC) |
| 型番 | NE-550 |
| 設備名称 | 汎用高品位ICPエッチング装置 ( ICP-RIE machine) |
| 装置スペック | CE-300Iの上位機種（ULVACのフラッグシップモデル）です。大津・八井研究室の協力により利用可能になりました。 4”装置 塩素・フッ素系汎用 Cl2, BCl3, Ar, O2, CF4，CHF3, SF6, C3F8 |
この設備情報の修正依頼
掲載内容に不備がある場合、情報が古い場合などはこちらから修正の報告をお願いします。