デバイス >
塩素系ICPエッチング装置 ( ICP-RIE machine)
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 東京大学 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | デバイス > |
| 製造元 | アルバック (ULVAC) |
| 型番 | CE-S |
| 設備名称 | 塩素系ICPエッチング装置 ( ICP-RIE machine) |
| 装置スペック | オペレーションの容易さで評判のCE-300Iの後継機 8”装置（任意サンプル貼り付けエッチング可能） Cl2, BCl3, SF6, CHF3, Ar, O2によるエッチングが可能ですが、主に使い分けとしてCl系のエッチングを行っています。 |
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