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8インチ汎用スパッタ装置 (General purpose Sputtering machine, ULVAC SIH-450)
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 東京大学 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | デバイス > |
| 製造元 | アルバック (ULVAC) |
| 型番 | SIH-450 |
| 設備名称 | 8インチ汎用スパッタ装置 (General purpose Sputtering machine, ULVAC SIH-450) |
| 装置スペック | 4インチウエーハ8枚、8インチウエーハ2枚導入可能。 6インチターゲット2枚、4インチターゲット1枚が可能。RFとDCスパッタリングが可能。 Al,SiO2,TiN,Taターゲットがあります。その他のターゲット導入も相談に乗ります（在庫がない場合注文から導入まで数ヶ月かかることもありますので相談はお早めに。） |
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