その他分析装置 >
機械特性評価装置 (MSA-500 Micro System Analyzer)
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 東京大学 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | その他分析装置 > |
| 製造元 | ポリテック (Polyltec) |
| 型番 | MSA-500 |
| 設備名称 | 機械特性評価装置 (MSA-500 Micro System Analyzer) |
| 装置スペック | Polytec 振動解析装置 MEMS機構の振動解析を行う装置です。XY方向はストロボスコープ（1MHz）、Z方向はレーザードップラー振動計（1.5MHz）またはレーザ変位計（24MHz）にて測定可能です。 測定した結果をアニメーションにして表示できるので解析に最適です。 |
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