設置機関 | 東京大学 |
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研究科・学部 | |
設備分類 | 表面分析 > AES |
製造元 | アルバック (ULVAC) |
型番 | PHI680 |
設備名称 | オージェ分光分析装置 (Auger Electron Spectroscopy) |
装置スペック | 元素分析装置。 対象の極表面から出て来るオージェ電子のエネルギー分光計測によって元素を調べることが出来る。 アルゴンミリングと併用でき、深さ方向のプロファイルを測定することができる。 |
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