高精細電子顕微鏡 (Ultra-high Resolution Scanning Electron Microscope (SEM))
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 東京大学 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | 顕微鏡 > 走査電子顕微鏡 |
| 製造元 | 日立ハイテクノロジーズ (Hitachi High-Tech) |
| 型番 | Regulus 8230 |
| 設備名称 | 高精細電子顕微鏡 (Ultra-high Resolution Scanning Electron Microscope (SEM)) |
| 装置スペック | 分解能は1 kVで0.7 nm。最高倍率は200万倍の電界放出電子源を用いた高分解能走査型電子顕微鏡 |
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