走査型プローブ顕微鏡 (Scanning Probe Microscope)
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 東京大学 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | 顕微鏡 > 走査プローブ顕微鏡 |
| 製造元 | 日立ハイテクノロジーズ (Hitachi High-Tech) |
| 型番 | L-trace II |
| 設備名称 | 走査型プローブ顕微鏡 (Scanning Probe Microscope) |
| 装置スペック | □主な特長 ・Z直進エラーの低減化 ・S/N比向上と光ノイズ低減 ・熱源抑制効果による低ドリフト化 □主な仕様 ・分解能 面内0.5nm 垂直0.05nm ・試料サイズ 直径150mm厚さ12mmまで ・スキャン最大エリア90μmX90μm □主な用途 ・ 微細加工形状の評価 ・ 薄膜の表面形状（粗さ）観察 |
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