デバイス >
マニュアルウエッジボンダ― (Manual wire bonder)
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 東京大学 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | デバイス > |
| 製造元 | WEST・BOND |
| 型番 | 7476D |
| 設備名称 | マニュアルウエッジボンダ― (Manual wire bonder) |
| 装置スペック | アルミ線（または金）超音波接合 ウエッジ針によって、超音波で配線を刷り込むように接合できる、「何にでもよくつく」ボンダーです。普段は25μmφのアルミ線を常用しています。 Zeissの三眼顕微鏡（高精細CCDカメラ付き）により、デバイスの写真や簡単な動画を取得することもできます。 |
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