デバイス >
精密研磨装置PM-6 (C.M. Polisher)
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 東京大学 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | デバイス > |
| 製造元 | ロジテック |
| 型番 | PM-6 |
| 設備名称 | 精密研磨装置PM-6 (C.M. Polisher) |
| 装置スペック | 化学研磨装置 対象物を精密に研磨する装置。研磨剤によって、高速に粗く削る（ラッピング）ことも、低速に平坦性を確保する（ポリッシング）ことも可能。4”丸型ウエーハまで研磨可能。 回転機構：1軸タイプ 最大サンプル径：4インチ |
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