電子線元素状態分析装置 (Electron Probe Micro Analyzer)
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 電気通信大学 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | 表面分析 > EPMA |
| 製造元 | 日本電子 (JEOL) |
| 型番 | JXA-8530F |
| 設備名称 | 電子線元素状態分析装置 (Electron Probe Micro Analyzer) |
| 装置スペック | 最高加速電圧: 200kV, 倍率: ×50-1,500,000 格子分解能: 0.1nm, 点分解能: 0.23nm, STEMモード: 0.2nm |
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