集束イオン/電子ビーム加工観察装置?(Focused Ion Beam Scanning Electron Microscopy)
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 早稲田大学 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | 顕微鏡 > 試料加工装置 |
| 製造元 | 株式会社 日立ハイテク (Hitachi High-Tech Corporation) |
| 型番 | NB-5000 |
| 設備名称 | 集束イオン/電子ビーム加工観察装置?(Focused Ion Beam Scanning Electron Microscopy) |
| 装置スペック | FIB加工中の同時SEM観察可能 ～80万倍, 試料サイズ最大30mmΦ エネルギー分散型X線元素分析機能（EDAX） ・ シリコンドリフトディテクター （SDD検出器） ・ エネルギー分解能： 133eV以下 ・ 検出元素：B～U ・ 定性分析／定量分析／マッピング機能搭載 STEM機能付き（薄膜化した後の高精度観察が可能） |
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