その他分析装置 >
触針式段差計 (Stylus Profiler)
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 早稲田大学 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | その他分析装置 > |
| 製造元 | ケーエルエー・テンコール株式会社 (KLA Corporation. ) |
| 型番 | プロファイラーP-15 |
| 設備名称 | 触針式段差計 (Stylus Profiler) |
| 装置スペック | 試料サイズ150mm 3D表面形状測定器 基板サイズ ～6 |
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