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高性能半導体デバイス アナライザ＋プローバ (semiconductor device analyzer)
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 早稲田大学 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | デバイス > |
| 製造元 | キーサイト・テクノロジー株式会社 (Keysight Technologies, Inc.) |
| 型番 | プローバ：長瀬産業社製（特注品） 測定装置：アジレント社製B1500A LCRメータ4284A |
| 設備名称 | 高性能半導体デバイス アナライザ＋プローバ (semiconductor device analyzer) |
| 装置スペック | ・0.1 fAおよび0.5 μVまでの電流／電圧（IV）測定をサポート ・ハイ・パワー／メモリ・デバイス・テストのための高電圧パルス発生（最大±40 V）をサポート ・準静的および中間周波数キャパシタンス／電圧（CV）測定をサポート |
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