走査型オージェ電子分光顕微鏡 (SAM)
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 北陸先端科学技術大学院大学 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | 表面分析 > AES |
| 製造元 | アルバック・ファイ (ULVAC-PHI) |
| 型番 | SAM670Xi |
| 設備名称 | 走査型オージェ電子分光顕微鏡 (SAM) |
| 装置スペック | 元素分析：原子番号3以上 最大加速電圧：25kV 走査電子ビーム径：15nm以 (加速電圧20kV、電流１nA） エネルギー分析：0-3200 eV 超高真空 |
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