X線光電子分光装置 (XPS)
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 北陸先端科学技術大学院大学 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | 表面分析 > XPS |
| 製造元 | 島津クレートス (Shimadzu/Kratos) |
| 型番 | AXIS- ULTRA DLD |
| 設備名称 | X線光電子分光装置 (XPS) |
| 装置スペック | 測定可能元素 Li～U X線源 Mg/Al 特性X線、AlKαモノクロメータX線 紫外光源：He放電管 最小プローブ 40μmφ 分析深さ 数nm 最大試料サイズ 100m (X）×25m (Y）×10m (Z） イメージング 空間分解能 3μm以下 元素像および化学状態像 深さ分析可能 エッチングイオン銃使用 傾斜分析可能 0～90°・紫外光分光分 (UPS）可能 |
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