デバイス >
クリーンルーム微細加工装置群 (clean room facility)
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 北陸先端科学技術大学院大学 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | デバイス > |
| 製造元 | - |
| 型番 | |
| 設備名称 | クリーンルーム微細加工装置群 (clean room facility) |
| 装置スペック | EB (30kV, 50kV)、マスクレス露光 (405nm, 375nm)、抵抗加熱蒸着、EB蒸着、RFスパッタ、ECRスパッタ、ALD、MBE、RIE、イオン注入、赤外ランプアニールなど |
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