設置機関 | 信州大学 |
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研究科・学部 | |
設備分類 | 質量分析 > |
製造元 | TOF.SIMS5-ADSD-100?(ION-TOF) |
型番 | TOF.SIMS5-ADSD-100 |
設備名称 | 飛行時間型二次イオン質量分析装置?(Time of flight secondary ion mass spectroscopy) |
装置スペック | 高質量分解能パルス圧縮モード:最小スポット径600nm 高空間分解能モード:最小スポット径120nm バーストモード:質量分解能と空間分解能を両立 ?m2からcm2まで測定可能 深さ分解能 : 1nm 以下 質量分解能>11,000 @29u (FWHM) |
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