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質量分析 >

飛行時間型二次イオン質量分析装置?(Time of flight secondary ion mass spectroscopy)
学内学外とも共用 マテリアル先端リサーチインフラ

設置機関 信州大学
研究科・学部
設備分類 質量分析 >
製造元 TOF.SIMS5-ADSD-100?(ION-TOF)
型番 TOF.SIMS5-ADSD-100
設備名称 飛行時間型二次イオン質量分析装置?(Time of flight secondary ion mass spectroscopy)
装置スペック 高質量分解能パルス圧縮モード:最小スポット径600nm 高空間分解能モード:最小スポット径120nm バーストモード:質量分解能と空間分解能を両立 ?m2からcm2まで測定可能 深さ分解能 : 1nm 以下 質量分解能>11,000 @29u (FWHM)
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