設置機関 | 信州大学 |
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研究科・学部 | |
設備分類 | 表面分析 > EPMA |
製造元 | 日本電子 |
型番 | JXA-iHP200F |
設備名称 | リモート対応型電子線マイクロアナライザー?(Remote-controlled electron probe microanalyzer) |
装置スペック | 2次電子分解能 2.5nm 分析元素B~U WDS:5基、EDS1基 最大試料100mm×100mm×50mm 加速電圧1~30kV |
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