デバイス >
スパッタ（金属、絶縁体）蒸着装置 (Sputtering vapor depositing equipment)
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 豊田工業大学 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | デバイス > |
| 製造元 | 芝浦エレテック (Shibaura eletec Corporatoin) |
| 型番 | CFS-4ES |
| 設備名称 | スパッタ（金属、絶縁体）蒸着装置 (Sputtering vapor depositing equipment) |
| 装置スペック | ・平行平板型 ・ターゲット現有（Ti, Al, Ag, Pd, SiO2, Al2O3, SiN, Au） |
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