デバイス >
多機能薄膜作製装置 (Sputtering vapor depositing / Molecular vapor epitaxy equipment)
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 豊田工業大学 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | デバイス > |
| 製造元 | アルバック (ULVAC) |
| 型番 | BC2925（特注装置） |
| 設備名称 | 多機能薄膜作製装置 (Sputtering vapor depositing / Molecular vapor epitaxy equipment) |
| 装置スペック | 超高真空仕様 RF2元、DC2元 ターゲット2インチΦと、分子線エピタキシーMBE3元（EBガン）の複合利用可能 多層膜作成可能、主に磁性材料用 |
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