デバイス >
イオンミリング装置 (Ion milling)
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 豊田工業大学 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | デバイス > |
| 製造元 | 日立ハイテクフィールディング (Hitachi High-Tech Fielding Corporation) |
| 型番 | IM-4-1 |
| 設備名称 | イオンミリング装置 (Ion milling) |
| 装置スペック | 加工材料：一般的な金属 最大加工領域：3基板 加工速度の目安： 加速電圧600V 減速電圧200V 加速電流120mA 傾斜角-30° でアルミのエッチング速度2.4μm/h |
この設備情報の修正依頼
掲載内容に不備がある場合、情報が古い場合などはこちらから修正の報告をお願いします。