電界放出形走査電子顕微鏡（FE-SEM）(電子ビーム描画機能付属） (Field emission-type scanning electron microscope)
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 豊田工業大学 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | 顕微鏡 > 試料加工装置 |
| 製造元 | 日本電子 (JEOL Ltd.) |
| 型番 | JSM6500F |
| 設備名称 | 電界放出形走査電子顕微鏡（FE-SEM）(電子ビーム描画機能付属） (Field emission-type scanning electron microscope) |
| 装置スペック | 東京テクノロジーのBEAM DRAWを付加した電子線描画装置。最小描画線幅50nm |
この設備情報の修正依頼
掲載内容に不備がある場合、情報が古い場合などはこちらから修正の報告をお願いします。