多機能分析走査電子顕微鏡 (Multi-functional Analysis Scanning Electron Microscope)
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 奈良先端科学技術大学院大学 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | 顕微鏡 > 走査電子顕微鏡 |
| 製造元 | 日本電子 (JEOL) |
| 型番 | JSM-IT800 |
| 設備名称 | 多機能分析走査電子顕微鏡 (Multi-functional Analysis Scanning Electron Microscope) |
| 装置スペック | ・加速電圧: 100 V～30 kV ・分解能: 0.5 nm（2次電子像、加速電圧15 kV） ・EDS検出器搭載 ・EBSD検出器搭載 ・CL検出器搭載 ・低真空機能搭載 |
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