超高分解能電界放出型電子顕微鏡 (Field-emission scanning electron microscope (FE-SEM))
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 奈良先端科学技術大学院大学 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | 顕微鏡 > 走査電子顕微鏡 |
| 製造元 | 日立ハイテク (Hitachi High-Tech) |
| 型番 | SU9000 |
| 設備名称 | 超高分解能電界放出型電子顕微鏡 (Field-emission scanning electron microscope (FE-SEM)) |
| 装置スペック | ・加速電圧: 500 V～30 kV ・分解能: 0.4 nm（2次電子像、加速電圧30 kV） ・EDX検出器搭載 ・STEM検出器搭載 |
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