設置機関 | 奈良先端科学技術大学院大学 |
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研究科・学部 | |
設備分類 | 顕微鏡 > 走査電子顕微鏡 |
製造元 | 日立ハイテク (Hitachi High-Tech) |
型番 | SU6600 |
設備名称 | 低真空分析走査電子顕微鏡 (Scanning Electron Microsope (SEM)) |
装置スペック | ・加速電圧: 500 V~30 kV ・分解能: 1.2 nm(2次電子像、加速電圧30 kV) ・EDS検出器搭載 ・EBSD検出器搭載 ・低真空機能搭載 |
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