多機能走査型X線光電子分光分析装置 (multi-functional scanning X-ray photoelectron spsctroscopy (XPS))
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 奈良先端科学技術大学院大学 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | 表面分析 > XPS |
| 製造元 | アルバックーファイ (ULVAC-PHI) |
| 型番 | PHI5000VersaProbe? |
| 設備名称 | 多機能走査型X線光電子分光分析装置 (multi-functional scanning X-ray photoelectron spsctroscopy (XPS)) |
| 装置スペック | ・X線源：単色化Al Kα線（集束X線型、スポット径100μm-9μm）、Mg Kα線、Zr L線 ・エネルギー分析器：同心半球型（半径 139.7 mm） ・検出器：16 チャンネル ・絶縁物測定：帯電中和用電子銃、Ar+イオン銃 ・スパッタ深さ分析：Ar+イオン銃、GCIB（Arn+ Gas Cluster Ion Beam） ・5軸ステージ：X, Y, Z, Tilt, Rotation ・試料加熱冷却：-150℃-500℃ |
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