微小デバイス特性評価装置 (Electron Beam Absorbed Current (EBAC) Characterization System nanoEBAC )
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 奈良先端科学技術大学院大学 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | 顕微鏡 > その他 |
| 製造元 | 日立ハイテク (Hitachi High-Tech) |
| 型番 | NE4000 |
| 設備名称 | 微小デバイス特性評価装置 (Electron Beam Absorbed Current (EBAC) Characterization System nanoEBAC ) |
| 装置スペック | ・加速電圧: 500 V ～ 30 kV ・分解能: 15nm（加速電圧2kV、WD_15mm） ・プローブユニット：4 ・付属：半導体デバイス・アナライザ（B1500A） |
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