設置機関 | 奈良先端科学技術大学院大学 |
---|---|
研究科・学部 | |
設備分類 | 分光計 > エリプソメータ |
製造元 | 堀場ージョバンイボン (HORIBA JOBIN YVON) |
型番 | UVISEL ER AGMS-NSD |
設備名称 | 分光エリプソメーター (Spectroscopic Ellipsometer) |
装置スペック | ・波長範囲: 0.6 eV ? 6.0 eV(206 nm ?2066 nm ) ・スポット径: 約 5 mm * 2 mm |
掲載内容に不備がある場合、情報が古い場合などはこちらから修正の報告をお願いします。