SEM付集束イオンビーム装置?(Focused ion beam system with SEM)
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 大阪大学 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | 顕微鏡 > 試料加工装置 |
| 製造元 | カールツァイス |
| 型番 | Nvision 40D with NPVE |
| 設備名称 | SEM付集束イオンビーム装置?(Focused ion beam system with SEM) |
| 装置スペック | 【特徴】 30kVのGa+イオンによるFIB加工及び加工時のSEM観察が可能。FIBによる気相蒸着によりPtおよびSiO2による配線の修復が可能。 【仕様】 ステージサイズ：max 8 inch Pt銃、SiO2銃装備 FE-SEMユニット, 加速電圧：30kV 検出器：InLens, SE, Esb FIBユニット, 加速電圧：30kV 最小ビーム径：4nm |
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