デバイス >
マスクアライナー?(Mask aligner)
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 大阪大学 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | デバイス > |
| 製造元 | ミカサ |
| 型番 | MA-10 |
| 設備名称 | マスクアライナー?(Mask aligner) |
| 装置スペック | 【特徴】 UV露光、マニュアルタイプ、コンタクト露光機。二視野顕微鏡採用によるスピーディで正確なアライメント。 【仕様】 試料は 2 inch φ、マスクは 3 inch角まで対応 水銀灯250W光源（ブロード波長） 二視野顕微鏡採用 |
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