その他分析装置 >
接触式膜厚測定器?(Stylus Profiler)
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 大阪大学 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | その他分析装置 > |
| 製造元 | ブルカージャパン |
| 型番 | DektakXT |
| 設備名称 | 接触式膜厚測定器?(Stylus Profiler) |
| 装置スペック | 【特徴】 10nm以下の段差を測定できる触針式の膜厚測定器です。 3D機能を備えたプロファイリングシステムを搭載しており、3Dマッピングが可能です。 【仕様】 試料ステージ：150mmφ 分解能：0.4nm 垂直測定レンジ：1 mm 膜厚測定再現性（1σ）：5? 走査距離上限：55mm 触針圧：1mg～15mg |
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