表面X線回折計 (Surface X-ray diffractometer)
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 量子科学技術研究開発機構 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | 加速器・放射光 > 放射光 |
| 製造元 | 神津精機（株）ほか (Kohzu Precision Co., Ltd., etc.) |
| 型番 | なし（特別仕様） |
| 設備名称 | 表面X線回折計 (Surface X-ray diffractometer) |
| 装置スペック | ・半導体ヘテロ構造や多層膜、半導体量子ドット結晶やナノワイヤなどの成長過程について、原子が一層づつ積み上がってゆく様子を、表面X線回折法によってリアルタイム観察できる装置。 ・原子状窒素を利用する分子線エピタキシー法により、GaNやInNなどの窒化物半導体の成長を行うことができる。 ・良質な電子材料の作成をサポート。 |
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