設置機関 | 広島大学 |
---|---|
研究科・学部 | |
設備分類 | デバイス > |
製造元 | (自作)?() |
型番 | (自作) |
設備名称 | 連続発振レーザアニール装置(レーザ結晶化装置)?(CW OSC Laser annealing (Laser crystallization)) |
装置スペック | レーザ出力:0.24 ~ 10.0 W、 レーザ径:1.15 mm×50μm (ラインビーム)、 スキャン速度:0.1 ~ 10 cm/s |
掲載内容に不備がある場合、情報が古い場合などはこちらから修正の報告をお願いします。