二次イオン質量分析装置?(SIMS)
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 広島大学 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | 表面分析 > SIMS |
| 製造元 | アルバックファイ?(ULVAC-PHI, Inc.) |
| 型番 | SIMS6650 |
| 設備名称 | 二次イオン質量分析装置?(SIMS) |
| 装置スペック | Cs,Oガン装備四重極型質量分析機、 一次イオン最小加速エネルギー1keV |
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