設置機関 | 香川大学 |
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研究科・学部 | |
設備分類 | デバイス > |
製造元 | ミカサ (MIKASA) |
型番 | MS-B150 |
設備名称 | スピンコータ- (Spin-coater) |
装置スペック | 回転塗布式 1ヘッド 真空吸着方式 試料サイズ:最大154mmφ1mmt 回転数:300?7000r.p.m 回転精度:±1r.p.m 回転時間:最大999.9se (合計) 回転制御:プログラム方式・最大100段入力可 |
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