その他分析装置 >
触針式表面形状測定器 (Stylus-type surface shape measuring system)
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 香川大学 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | その他分析装置 > |
| 製造元 | アルバック (ULVAC) |
| 型番 | Dektak8 |
| 設備名称 | 触針式表面形状測定器 (Stylus-type surface shape measuring system) |
| 装置スペック | 測定分解能:最小:0.1nm 垂直分解能/レンジ：1?/65k?、10?/655k?、40?/2620k? サンプルサイズ：直径210mm 測定長さ：50μm?50mm 最大サンプリング数：30,000点 測定加重：1?15mg 自動多点測定数：最高200点 サンプル観察： トップビュ (低倍率カラー）10mm サイドビュ (高倍率カラー）1mm 測定再現性:1nm以下 |
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