その他分析装置 >
白色干渉式非接触三次元形状測定器 (White light interference type non-contact three-dimensional shape measuring system)
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 香川大学 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | その他分析装置 > |
| 製造元 | ﾌﾞﾙｶｰ･ｴｲｴｯｸｽｴｽ (Bruker) |
| 型番 | NT91001A-in motion |
| 設備名称 | 白色干渉式非接触三次元形状測定器 (White light interference type non-contact three-dimensional shape measuring system) |
| 装置スペック | in-situ駆動観察 測定方式:垂直走査型干渉方式 位相シフト干渉方式 分解能:X,Y方向:1μm Z方向:0.1～1nm 試料ステージ:6インチ |
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