デバイス >
ウェハプローバ (Wafer prober)
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 香川大学 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | デバイス > |
| 製造元 | ｶｰﾙ･ｽﾞｰｽ (SUSS MicroTec) |
| 型番 | PM5 |
| 設備名称 | ウェハプローバ (Wafer prober) |
| 装置スペック | 対応基板サイズ：直径1インチ～150mm X・Y移動範 (粗動）：最大150mm×150mm X・Y移動範 (微動）：10mm×10mm Θ調整範囲：360° 高さ調整範囲：10mm 顕微鏡X・Y移動範囲：50mm×50mm |
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