エリプソメータ (Film thickness measuring system)
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 香川大学 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | 分光計 > エリプソメータ |
| 製造元 | 溝尻光学 (Mizojiri-opt) |
| 型番 | DHA-XA/M8 |
| 設備名称 | エリプソメータ (Film thickness measuring system) |
| 装置スペック | 膜厚と屈折率を測定可能 処理物：～12インチウェハ 光源波長：632.8n (He-Neレーザー） 入射角：55°～75°，90° 入射角設定単位：0.01° 最小分解能：1? 分布計測分解能：0.01mm |
この設備情報の修正依頼
掲載内容に不備がある場合、情報が古い場合などはこちらから修正の報告をお願いします。