デバイス >
ウエハスピン現像装置
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 香川大学 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | デバイス > |
| 製造元 | 滝沢産業 |
| 型番 | AD-1200（無機用），AD-1200（有機用） |
| 設備名称 | ウエハスピン現像装置 |
| 装置スペック | 基板サイズ：φ4"以下 基板ホルダー：真空吸着式 基板回転数：0～3000rpm 可変式 処理時間：999sec/stop（1sec単位） 使用薬液：無機系アルカリ液対応と有機溶剤対応 処理方法：スプレースイングアーム式 |
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