低真空分析走査電子顕微鏡
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 分子科学研究所 |
|---|---|
| 研究科・学部 | 機器センター |
| 設備分類 | 顕微鏡 > 走査電子顕微鏡 |
| 製造元 | 日立ハイテクノロジーズ |
| 型番 | SU6600 |
| 設備名称 | 低真空分析走査電子顕微鏡 |
| 装置スペック | 加速電圧0.5～30kVで、二次電子像、反射電子像、明視野透過電子像を観察します。10Pa～300Paの低真空観察に対応します。EDS（EDX）による元素分析や元素マッピングが可能です。 空間分解能1.2nm(30kV)、3.0nm(30kV) 低真空機能（10～300Pa） EDS（EDX）（BrukerAXS社製 FQ5060/XFlash6） |
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