電子プローブマイクロアナライザ (EPMA)
学内学外とも共用
| 設置機関 | 分子科学研究所 |
|---|---|
| 研究科・学部 | 機器センター |
| 設備分類 | 表面分析 > EPMA |
| 製造元 | 日本電子 |
| 型番 | JXA-8230 |
| 設備名称 | 電子プローブマイクロアナライザ (EPMA) |
| 装置スペック | X線分析装置（WDS、SXES）による元素分析、組成マップ。分光範囲は、WDS:0.087～9.3 nm、SXES：50～210 eV。EDSオプションあり。加速電圧0.2～30 kVで、SEM像・BSE像の観察が可能。 |
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