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表面分析 > XPS

機能性材料バンド構造顕微分析システム
学内学外とも共用 マテリアル先端リサーチインフラ

設置機関 分子科学研究所
研究科・学部 機器センター
設備分類 表面分析 > XPS
製造元 Scienta Omicron
型番 DA30
設備名称 機能性材料バンド構造顕微分析システム
装置スペック 静電半球型アナライザーを用いた機能性材料の価電子バンド構造測定システム。ディフレクターを使用することで2次元波数空間マッピングを行うことが可能。薄膜作製用真空チェンバー、試料表面処理チェンバー(電子衝撃加熱、通電加熱、Ar+スパッタが可能)、電子線回折装置、劈開機構を利用することができるため、 様々な機能性材料の測定に対応。 光電子分析器 エネルギー分解能1meV以下、 角度精度0.1度以下、空間分解能 10ミクロン以下 真空紫外光源 希ガス共鳴線(主として、21.218 eV, 40.814 eV) 試料冷却機能 温度範囲 8-300K 真空チェンバー 測定槽真空度7x10-9Pa以下
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