設置機関 | 分子科学研究所 |
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研究科・学部 | 装置開発室 |
設備分類 | その他分析装置 > |
製造元 | 三鷹光器 |
型番 | NH-3SP |
設備名称 | 非接触三次元測定装置 |
装置スペック | レーザープローブ方式の3次元測定器。各測定点でのオートフォーカス位置を読み取ることで3次元形状、断面形状、面粗さ、平面度測定などを行う。最大測定範囲:×150mm、y150mm、高さ110mmオートフォーカス再現性0.01mm以下 |
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