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その他分析装置 >

非接触三次元測定装置
学内学外とも共用

設置機関 分子科学研究所
研究科・学部 装置開発室
設備分類 その他分析装置 >
製造元 三鷹光器
型番 NH-3SP
設備名称 非接触三次元測定装置
装置スペック レーザープローブ方式の3次元測定器。各測定点でのオートフォーカス位置を読み取ることで3次元形状、断面形状、面粗さ、平面度測定などを行う。最大測定範囲:×150mm、y150mm、高さ110mmオートフォーカス再現性0.01mm以下
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