局所排気装置 横置スクラバー型 1200mm
学内学外とも共用
| 設置機関 | 分子科学研究所 |
|---|---|
| 研究科・学部 | 装置開発室 |
| 設備分類 | その他 > 実験設備・施設 |
| 製造元 | ダルトン |
| 型番 | DFC15 |
| 設備名称 | 局所排気装置 横置スクラバー型 1200mm |
| 装置スペック | 強酸対応可能なPVC製ドラフトチャンバー、フォトリソグラフィ・セクションーのエッチング工程などに可能。 |
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