デバイス >
フォトリソ装置
学内学外とも共用
| 設置機関 | 分子科学研究所 |
|---|---|
| 研究科・学部 | 装置開発室 |
| 設備分類 | デバイス > |
| 製造元 | |
| 型番 | |
| 設備名称 | フォトリソ装置 |
| 装置スペック | スピンコーター、マスクアライナー、ホットプレート、電気炉、プラズマクリーナー、ドラフト等を利用して、各種レジスト塗布、露光、現像などのリソグラフィー作業が可能。 スピンコーター塗布可能基板サイズφ50mm、マスクアライナー基板サイズφ4インチまで、フォトマスクサイズ 3×3インチ、4×4インチ、２５０W水銀灯 |
この設備情報の修正依頼
掲載内容に不備がある場合、情報が古い場合などはこちらから修正の報告をお願いします。